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華中科技大學(xué)
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成果領(lǐng)域
角錐棱鏡
一種角錐棱鏡坐標(biāo)測(cè)量誤差的補(bǔ)償裝置
合作：
無(wú)線(xiàn) Andon 系統(tǒng)
一種無(wú)線(xiàn) Andon 系統(tǒng)
合作：
光刻機(jī)
一種光刻機(jī)自動(dòng)調(diào)焦方法及裝置
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對(duì)心檢測(cè)
一種基于相機(jī)的對(duì)心檢測(cè)方法及裝置
合作：
微納深溝槽
一種微納深溝槽結(jié)構(gòu)側(cè)壁形貌快速測(cè)量方法及裝置
合作：
原子力探針
一種白光干涉原子力探針系統(tǒng)的成像自動(dòng)調(diào)整裝置及其控制方 法
合作：
直流故障判斷
多端柔性直流輸電系統(tǒng)的直流故障判斷方法及控制方法
合作：
微電子封裝
基于光熱成像的微電子封裝工藝質(zhì)量檢測(cè)裝置及方法
合作：
圖像獲取裝置
基于光熱成像的圖像獲取裝置
合作：
診斷儀器
一種電纜運(yùn)行狀態(tài)診斷系統(tǒng)
合作：